| 箱 體 | |
| 尺 寸 | 單雙面、1200、1500、1800、2400等 |
| 材 質 | 3mm厚SUS304不銹鋼 |
| 照 明 | LED燈帶 |
| 置 物 架 | SUS304不銹鋼材質 |
| 手 套 | 美國諾斯、美國皮爾康 |
| 手 套 口 | 陽極氧化硬鋁合金、聚甲醛 |
| 支 架 | 高950mm，底部裝置腳輪及不銹鋼撐持座 |
| 洗濯置換 | 主動洗濯、觸摸屏節制 |
| 大過渡艙 | |
| 尺 寸 | 390*600mm，SUS304不銹鋼材質 |
| 托 盤 | 內置挪動托盤 |
| 抽補情勢 | 主動抽補 |
| 小過渡艙 | |
| 尺 寸 | Φ150*330mm，SUS304不銹鋼材質 |
| 托 盤 | 內置半圓形托盤 |
| 抽補情勢 | 手動抽補 |
| 壓 力 表 | 德國WIKA |
| 輪回污染體系 | |
| 除塵體系 | 加工進程中發生的煙塵及粉塵 |
| 節制體系 | 西門子PLC |
| 顯現體系 | 西門子、昆侖通泰7“黑色觸摸屏 |
| 輪回體系 | 西門子、達綱風機 |
| 污染資料 | 德國BASF、美國UOP |
| 無機溶劑吸附柱 | 優良真空烘烤活性炭 |
| 電 磁 閥 | 德國寶帝 |
| 主要配件 | |
| 氧闡發儀 | 美國GE、美國AII |
| 水闡發儀 | 美國GE、美國申特 |
| 壓力傳感器 | 德國哈斯瓦謝 |
| 真 空 泵 | 英國愛德華RV12 |
| 油霧過濾器 | 英國愛德華 |
| 手藝目標 | |
| 泄 漏 率 | <0.05vol%/h |
| 水 含 量 | <1 PPM |
| 氧 含 量 |
<1 PPM |
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